이름:
12인치 쿼츠 벨 자
기능 및 적용:
12인치 석영 벨 자르는 고온 에피택셜 장비의 핵심 구성 요소로 사용됩니다. 반응실 밀봉, 극심한 열 응력 내기, 열장 및 가스 흐름 설계 최적화 등 핵심 기능을 수행합니다. 이 방법은 고온 과정인 외출 성장 과정에 적용됩니다.
성과 요건:
높은 고온 저항성, 내식성, 우수한 열안정성, 낮은 불순물 함량.
저장성 후저우시 남쉰구 동첸 거리 창화서로 5177번지
+86-572-3032373
+86-572-3033016
그리고쿼츠 벨 자르고온 반도체 및 태양광 가공 시스템에 설계된 필수 부품으로, 더 큰 웨이퍼 용량이 필요합니다. 고순도 융합 석영으로 제작된 이 벨 자르는 뛰어난 열충격 저항성, 화학적 관성, 기계적 강도를 제공합니다.
확장된 직경은 더 큰 웨이퍼나 더 큰 배치 크기를 효율적으로 가공할 수 있게 하며, 정밀한 치수 제어와 매끄러운 내부 표면을 유지하여 균일한 가스 흐름과 온도 분포를 보장합니다. 이 튜브들은 확산, 산화, LPCVD, 어닐링 응용에 뛰어나 일관된 공정 결과와 높은 소자 수율을 보장합니다.
석영 벨 자르는 실험실 및 반도체 응용 분야에서 사용되는 고순도의 투명 석영 덮개입니다. 주요 기능은 포토리소그래피나 진공 실험과 같은 저온 공정 중 섬세한 웨이퍼나 재료를 감싸고 보호하는 것입니다. 화학적으로 불활성 석영으로 만들어져 오염에 강하고 광학 명료도를 유지하여 정밀한 공정 제어를 보장합니다. 쿼츠 벨 자르는 일반적으로 웨이퍼나 실험 장비 위에 설치되어 통제된 환경을 조성하고, 먼지나 습기로부터 보호하며, 투명한 벽을 통해 공정을 관찰할 수 있게 합니다.
다룰 주요 사항: