그리고쿼츠 웨이퍼 지지대고순도 융합 석영 부품으로, 확산, 산화, CVD 증착, 어닐링 등 고온 반도체 웨이퍼 제조 공정에서 석영 보트를 안전하게 지지하도록 설계되었습니다. 극한의 열 조건을 견딜 수 있도록 설계된 이 받침대는 공정 신뢰성과 웨이퍼 무결성 유지에 필수적인 우수한 열 안정성과 내식성을 보장합니다.

정밀한 샌드블라스트된 표면은 균일한 가스 흐름 분포를 촉진하여 석영 보트 내에 내장된 실리콘 웨이퍼에 공정 가스가 일정하게 노출될 수 있도록 합니다. 받침대의 낮은 불순물 함량은 오염 위험을 줄이고, 견고한 구조는 반복적인 열 사이클을 견디어 첨단 반도체 제조 장비의 필수 부품입니다.

석영 웨이퍼 지지 받침대의 고온 안정성

안정성이 중요한 이유

• 정밀도 유지– 1000 °C 이상의 온도 시 변형을 방지합니다.
• 열충격에 저항함– 빠른 가열 및 냉각 사이클을 균열 없이 견뎌냅니다.
• 순수 보장– 고순도 석영은 오염 위험을 최소화합니다.
• 지지 수익률– 안정적인 웨이퍼 위치 지정은 휙 및 결함 형성을 줄입니다.

반도체 공정의 이점

1. 향상된 웨이퍼 균일성

2. 부품 수명 연장

3. 유지보수 및 교체 비용 절감

엔지니어와 공장들은 일관된 결과를 달성하고 중요한 열 공정 동안 귀중한 웨이퍼를 보호하기 위해 고순도, 열적으로 안정적인 석영 웨이퍼 지지대에 의존합니다.