이름:

6인치 쿼츠 보트 시리즈

기능 및 적용:

이 시리즈에는 케이지 보트, 배플 보트, 베이스 보트, 표준 웨이퍼 보트 등 다양한 쿼츠 보트가 포함되어 있으며, 확산, 산화, CVD 증착, 웨이퍼 세척과 같은 고온 반도체 공정에서 실리콘 웨이퍼를 지지하도록 설계되었습니다. 이러한 다양한 형태와 구조는 다양한 제조 및 연구 응용 분야에서 가스 흐름, 열적 균일성, 웨이퍼 안정성을 최적화합니다.

성과 요건:

고순도 융합 석영 구조로 우수한 열안정성, 내식성, 낮은 불순물 함량을 자랑합니다. 반복적인 열 사이클을 견딜 수 있는 견고한 설계. 입자 생성과 오염을 최소화하기 위해 매끄럽고 광택 또는 샌드블라스트된 표면을 사용하여 자동화된 웨이퍼 취급 시스템 및 다양한 용광로와의 호환성을 보장합니다.