그리고곡판 용융 실리카 보트이는 확산, 산화, CVD 증착과 같은 고온 배치 공정이 포함된 반도체 응용을 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 캐리어입니다. 고순도 융합 실리카로 제작된 이 보트는 뛰어난 열 안정성, 최소한의 열팽창, 그리고 부식과 열충격에 대한 우수한 저항성을 제공합니다.

휘어진 판 구조는 안정적인 웨이퍼 지지를 제공하며, 용광로 튜브 내 균일한 가스 흐름과 열 전달을 향상시킵니다. 매끄럽고 깨끗한 표면은 입자 생성을 최소화하며, 재료의 높은 광학 투명성 덕분에 필요할 때 시각적 검사를 지원합니다. 일관된 웨이퍼 정렬과 낮은 오염 위험을 위해 설계된 융합 실리카 벤트 플레이트 보트는 첨단 반도체 제조, 연구소, 파일럿 라인의 엄격한 요구사항을 충족합니다.

왜 곡판 석영 보트라고 불리나요?

"곡판 석영 보트"라는 용어는 그 재료와 디자인 형태에서 유래했습니다:

쿼츠:이 보트는 우수한 열 안정성, 화학 저항성, 낮은 불순물 함량으로 반도체 제조에서 높이 평가받는 고순도 석영(융합 규소)으로 만들어졌습니다.

곡선 판:평평하거나 튜블러(튜브형 보트)와 달리, 이 디자인은 판이 아치형으로 구부러지거나 곡선형으로 만들어져 있습니다. 이 굽은(곡선형) 플레이트 구조는 고온 공정 시 웨이퍼 주변의 가스 흐름 분포와 열적 균일성을 개선하는 데 도움을 줍니다. 곡률은 웨이퍼가 공정 가스에 더 잘 노출되고 열 분포를 고르게 할 수 있게 해줍니다.

보트:반도체 공정에서 '보트'는 용광로나 확산관 공정 중 웨이퍼를 안전하게 고정하는 캐리어나 고정구를 일컫는 업계 용어입니다.

따라서 "곡판 쿼츠 보트"는 고온 반도체 제조에서 균일한 웨이퍼 공정에 최적화된 굽은(곡면) 판 설계를 가진 석영 기반 웨이퍼 캐리어를 의미합니다.