그리고수평 석영 보트 수평 가로 시스템에서 안전하고 정밀한 웨이퍼 취급을 위해 특별히 설계되었으며, 200mm 반도체 웨이퍼 생산에서 산화, 확산, 어닐링 공정에 널리 사용됩니다. 고순도 융합 석영으로 만들어져 뛰어난 열안정성, 내식성, 치수 정확도를 제공합니다.

수평 설계는 용광로 튜브 축을 따라 웨이퍼 정렬과 간격을 균일하게 보장하여, 각 웨이퍼 전반에 걸쳐 최적의 가스 흐름 역학과 일관된 열 처리를 가능하게 합니다. 강하고 오염이 적은 구조는 고온에서 변형을 최소화하여 공정의 무결성을 유지하고 입자 생성을 줄이는 데 도움을 줍니다.

확산, 산화 및 CVD 응용에서 수평 석영 보트 사용

수평 석영 보트는 반도체 제조에서 필수적인 도구로, 확산, 산화, CVD 증착과 같은 고온 공정 동안 웨이퍼를 안전하게 고정하고 운반하도록 설계되었습니다. 고순도 융합 석영으로 만들어진 이 보트들은 최소한의 오염을 보장하며, 공정 전반에 걸쳐 민감한 웨이퍼의 무결성을 유지합니다.

수평 배치 덕분에 웨이퍼가 평평하게 누워 균일한 열 분포와 공정 가스에 지속적으로 노출될 수 있습니다. 이 설계는 온도 구배를 줄이고, 도핑이나 산화를 고르게 하며, 전체 공정 수율을 향상시킵니다. 매끄럽고 불순물이 적은 표면은 입자 생성을 최소화하여 클린룸 표준을 지원하고 섬세한 웨이퍼 표면을 보호합니다.

내구성과 열적으로 안정적인 고품질 수평 쿼츠 보트는 반복적인 열 사이클링에도 휘거나 균열 없이 견딜 수 있습니다. 적합한 수평 석영 보트를 선택함으로써 반도체 공장과 연구 시설은 웨이퍼 균일성을 최적화하고, 처리량을 극대화하며, 확산, 산화, CVD 응용 분야에서 엄격한 공정 제어를 유지할 수 있습니다.