쿼츠 캡

제품 세부사항

이름:

8인치 쿼츠 캡 (쿼츠 내부 플러그)

기능 및 적용:

석영 캡은 웨이퍼 가공 중 용광로 온도를 효과적으로 안정시키고 열 복사 손실을 줄여주는 석영관의 밀봉 부품입니다. 이 방법은 고온 공정인 웨이퍼 제조의 확산, 산화, CVD 증착 공정에 적용됩니다.

성과 요건:

높은 온도 저항성, 내식성, 우수한 열 안정성, 샌드블라스트 표면 처리, 낮은 불순물 함량.

문의하기
  • 저장성 후저우시 남쉰구 동첸 거리 창화서로 5177번지

  • +86-572-3032373

    +86-572-3033016

제품에 대해 더 알아보기

그리고퓨즈드 쿼츠 커패시 고온 반도체 및 태양광 공정 중 석영관, 반응기, 웨이퍼 보트를 안전하게 밀봉하도록 설계된 엔지니어링 부품입니다. 초고순도 융합석영으로 만들어진 이 캡들은 뛰어난 열충격 저항성, 화학적 안정성, 기계적 강도를 제공합니다.

산화, 확산, LPCVD, 어닐링 작업 중 가스 누출을 방지하고 공정 환경의 완전성을 유지하는 밀폐를 보장합니다. 캡의 내구성은 변형 없이 반복적인 열 사이클을 가능하게 하여 일관된 공정 결과와 장비 수명 연장을 지원합니다.

퓨즈드 쿼츠 캡에서 흔히 발생하는 문제와 이를 피하는 방법

1. 열충격에 의한 균열

원인:급격한 온도 변화나 불균일한 가열.

예방:난로를 점진적으로 예열하여 균일한 온도 분포를 보장합니다. 고품질의 고순도 융합 석영을 사용하여 열충격 저항성을 높이세요.

2. 표면 오염

원인:입자, 화학 잔류물 또는 공정 가스의 불순물.

예방:사용 전 초순도 화학물질로 캡을 청소하고, 클린룸 환경을 유지하며, 오염된 표면과의 직접 접촉을 피하세요.

3. 변형 또는 뒤틀림

원인:과도한 기계적 스트레스나 장기간 고온에 노출된 경우.

예방:보일러 종류에 맞게 정밀하게 설계된 캡을 사용하고, 과도하게 조이거나 부적절한 설치를 피하세요.

4. 화학적 침식

원인:공격적인 공정 가스 또는 반복적인 고온 노출.

예방:고순도에 내식성이 뛰어난 융합석영을 선택하고 용광로 내 화학 환경을 모니터링하세요.

5. 용광로의 정렬 불량

원인:잘못 맞춘 캡은 열 분포 불균형과 가스 흐름 문제를 일으킬 수 있습니다.

예방:커패시터가 난로 사양에 맞는지 확인하고, 각 공정 실행 전에 정렬 상태를 확인하세요.

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