그리고융합 석영 링 반도체 및 태양광 가공 장비 내에서 다양한 석영 부품을 지지, 밀봉 또는 배치하기 위해 설계된 정밀 부품입니다. 초고순도 융합석영으로 제조된 이 링들은 고온 조건에서 뛰어난 열 안정성, 화학적 비활성 성, 기계적 강도를 제공합니다.

치수 정확도는 확산로, CVD 반응기, 어닐링 시스템에서 적절한 정렬과 견고한 장착을 보장하여 균일한 가스 흐름과 온도 분포에 기여합니다. 이 링의 열충격 및 오염에 대한 저항성은 고수율 웨이퍼 제조에 필수적인 청정 처리 환경을 유지하는 데 도움을 줍니다.

융합 석영 링에 대한 간략한 소개

융합 석영 링은 반도체 공정, 화학 반응기, 고온 용광로 시스템에서 사용되는 고순도, 열적으로 안정적인 부품입니다. 초순도 융합 실리카로 만들어진 이 링들은 극한 조건에서 열충격, 화학 부식, 변형에 뛰어난 저항성을 제공합니다.

이들은 확산, 산화, CVD, 어닐링 공정에서 일반적으로 석영관을 지지하거나 밀봉하는 데 사용되며, 구조적 완전성을 제공하면서 오염 위험을 최소화합니다. 융합 석영 링은 균일한 열 분포를 보장하고 공정 안정성을 유지하여 정밀 웨이퍼 제조 및 고온 응용에 필수적입니다.

주요 이점:

• 탁월한 열적 및 화학적 안정성
• 열충격에 대한 높은 저항성
• 오염 없는 가공을 위한 불순물 함량이 낮음
• 고온 환경에서 치수 정확도를 유지함