그리고고순도 석영 웨이퍼 보트 고온 반도체 제조 공정에서 200mm 웨이퍼의 안전하고 오염 없는 취급을 위해 특별히 설계되었습니다. 초순도 융합 석영으로 만들어져 뛰어난 열적 안정성, 낮은 불순물 수준, 공격적인 공정 가스에 대한 우수한 저항성을 보입니다.

정밀한 웨이퍼 슬롯과 강화된 구조적 완전성을 갖춘 이 보트는 일정한 웨이퍼 간격과 정렬을 보장하여 산화, 확산 및 LPCVD 용광로 환경에서 균일한 가스 흐름과 열 분배를 가능하게 합니다. 부드러운 표면 마감은 입자 생성을 최소화하고 클린룸급 성능을 지원합니다.

석영 웨이퍼 보트에서 고순도의 중요성

고순도 석영 웨이퍼 보트는 반도체 제조에서 중요한 부품으로, 확산, 산화, CVD 증착과 같은 고온 환경에서 실리콘 웨이퍼를 운반하고 가공하도록 설계되었습니다. 초고순도 석영(>99.99% SiO₂)으로 제작된 이 보트들은 금속 및 입자 오염을 최소화하고 웨이퍼 표면을 보호하며 높은 소자 수율을 보장합니다.

우수한 열 안정성과 낮은 열 팽창 덕분에 변형이나 균열 없이 반복적인 열 사이클을 견디며, 모든 웨이퍼에서 균일한 가열을 유지할 수 있습니다. 매끄럽고 불순물이 적은 표면은 입자 생성을 더욱 줄여 엄격한 클린룸 기준과 고급 공정 요구사항을 지원합니다.

신뢰할 수 있는 지지력, 화학적 비활성 성, 장기 내구성을 제공함으로써 고순도 쿼츠 웨이퍼 보트는 반도체 공장이 일관된 결과, 더 높은 효율성, 유지보수 비용 절감을 달성하도록 돕습니다. 최대한의 정밀도와 생산성을 목표로 하는 현대 반도체 생산 및 연구 시설에 필수적입니다.