쿼츠 링

제품 세부사항

이름:

8인치 OP 쿼츠 링

기능 및 적용:

부식 제조 과정에서 다양한 오염을 방지하는 보호 부품 역할을 하여 챔버의 밀봉과 보호를 보장합니다. 이 공정은 저온 공정인 웨이퍼 제조 에칭 공정에 적용됩니다.

성과 요건:

높은 고온 저항성, 내식성, 우수한 열안정성, 낮은 불순물 함량.

문의하기
  • 저장성 후저우시 남쉰구 동첸 거리 창화서로 5177번지

  • +86-572-3032373

    +86-572-3033016

제품에 대해 더 알아보기

그리고OP 쿼츠 링 초순도 융합 실리카로 제작된 고정밀 부품으로, 반도체 및 태양광 가공 시스템 내에서 신뢰할 수 있는 지지, 밀봉 또는 간격을 제공하도록 설계되었습니다. 탁월한 열 안정성, 낮은 열팽창, 뛰어난 화학 저항성으로 잘 알려진 이 링은 혹독한 처리 환경과 반복적인 열 사이클을 견딥니다.

정확한 치수는 용광로 조립체의 최적의 맞춤과 정렬을 보장하여 CVD, 확산, 어닐링 등 공정 중 균일한 가스 흐름과 온도 제어에 기여합니다. 융합된 실리카 유리 링은 오염 없는 환경을 유지하는 데 도움을 주며, 일관된 웨이퍼 품질과 높은 공정 수율을 달성하는 데 중요합니다.

OP 쿼츠 링과 표준 쿼츠 링 비교

OP(불투명) 쿼츠 링은 열 절연과 방사선 효과 저감이 중요한 고온 반도체 공정을 위해 설계된 특수 부품입니다. 표준 쿼츠 링과 비교할 때, OP 쿼츠 링은 더 높은 불투명도, 더 나은 열 차폐, 낮은 빛 투과율을 제공하여 안정적인 화로 상태를 유지하고 웨이퍼 오염을 최소화하는 데 도움을 줍니다.

표준 석영 링은 화학적으로 순수하고 열적으로 안정적이지만, 더 많은 열복사를 전달하며 절연이 덜 중요한 범용 용도에 더 적합합니다. OP와 표준 쿼츠 링 중 선택은 공정 요구사항, 용광로 설계, 열 균일성 및 웨이퍼 보호 필요성에 따라 달라집니다.

주요 사항:

  • 원글 작성자:불투명하고 우수한 열 절연으로 민감한 공정에 이상적입니다.
  • 표준 링:투명하고, 범용적이며, 비용 효율적입니다.
  • 선택은 웨이퍼 균일성, 오염 제어, 공정 안정성에 영향을 미칩니다.

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