그리고OP 쿼츠 링 초순도 융합 실리카로 제작된 고정밀 부품으로, 반도체 및 태양광 가공 시스템 내에서 신뢰할 수 있는 지지, 밀봉 또는 간격을 제공하도록 설계되었습니다. 탁월한 열 안정성, 낮은 열팽창, 뛰어난 화학 저항성으로 잘 알려진 이 링은 혹독한 처리 환경과 반복적인 열 사이클을 견딥니다.
정확한 치수는 용광로 조립체의 최적의 맞춤과 정렬을 보장하여 CVD, 확산, 어닐링 등 공정 중 균일한 가스 흐름과 온도 제어에 기여합니다. 융합된 실리카 유리 링은 오염 없는 환경을 유지하는 데 도움을 주며, 일관된 웨이퍼 품질과 높은 공정 수율을 달성하는 데 중요합니다.
OP(불투명) 쿼츠 링은 열 절연과 방사선 효과 저감이 중요한 고온 반도체 공정을 위해 설계된 특수 부품입니다. 표준 쿼츠 링과 비교할 때, OP 쿼츠 링은 더 높은 불투명도, 더 나은 열 차폐, 낮은 빛 투과율을 제공하여 안정적인 화로 상태를 유지하고 웨이퍼 오염을 최소화하는 데 도움을 줍니다.
표준 석영 링은 화학적으로 순수하고 열적으로 안정적이지만, 더 많은 열복사를 전달하며 절연이 덜 중요한 범용 용도에 더 적합합니다. OP와 표준 쿼츠 링 중 선택은 공정 요구사항, 용광로 설계, 열 균일성 및 웨이퍼 보호 필요성에 따라 달라집니다.
주요 사항: