이름:
8인치 쿼츠 베이스
기능 및 적용:
베이스 중앙에는 가스 흐름을 분산시키고 위에 위치한 쿼츠 보트 내부의 실리콘 웨이퍼에 안정적인 가스 노출을 보장하기 위해 여러 개의 배플이 설치되어 있습니다. 이 공정은 확산, 산화, CVD 증착 및 어닐링과 같은 고온 공정에 적용됩니다.
성과 요건:
높은 온도 저항성, 내식성, 우수한 열 안정성, 샌드블라스트 표면, 낮은 불순물 함량.
저장성 후저우시 남쉰구 동첸 거리 창화서로 5177번지
+86-572-3032373
+86-572-3033016
그리고융합 석영 받침대 반도체 및 광전지 고온 가공 장비를 위해 설계된 중요한 지지 부품입니다. 초순도 융합 석영으로 만들어지며, 엄격한 열 사이클링 하에서도 뛰어난 열충격 저항성, 화학적 관성, 기계적 내구성을 제공합니다.
이 받침대는 확산, 산화, LPCVD, 어닐링 용광로 내에서 웨이퍼 또는 석영 보트의 안정적이고 정확한 위치를 보장합니다. 다양한 8인치 석영 보트 및 용광로 시스템과의 호환성을 위해 설계되었으며, 융합 석영 받침대는 첨단 반도체 제작에 필수적인 신뢰할 수 있고 오염 없는 공정을 지원합니다.
내구성이 뛰어난 융합 석영 받침대는 반복적인 열 순환과 화학 노출을 견디어 파손과 변형을 최소화합니다. 교체 인원이 줄어들면 시간이 지남에 따라 조달 비용이 더 낮아집니다.
신뢰할 수 있는 받침대는 안정적인 웨이퍼 위치와 일정한 가스 흐름을 보장하여, 받침대 고장으로 인한 난로의 정지 위험을 줄여줍니다. 가동 중단 시간이 줄어들면 생산 효율성이 높아지고 비용 절감이 가능해집니다.
고품질 융합 석영은 부식과 오염에 강하여 청소 및 유지보수 필요성을 줄여줍니다. 유지보수팀은 다른 중요한 작업에 집중할 수 있어 인건비를 절감할 수 있습니다.
안정적인 받침대는 균일한 열 분포와 간격을 유지하여 웨이퍼 결함을 줄이고 수율을 증가시킵니다. 수율 증가는 낭비되는 자재를 줄이고 전반적인 수익성을 향상시킵니다.
내구성이 뛰어난 융합 석영 받침대는 초기 비용이 더 높을 수 있지만, 내구성, 성능 안정성, 간접 비용 절감 덕분에 반도체 제조업체에 유리한 투자 수익을 가져옵니다.