그리고수직 석영 보트 산화, 확산, LPCVD와 같은 고온 공정에 사용되는 수직 용광로 시스템에서 200mm 웨이퍼를 안전하게 고정하도록 설계되었습니다. 고순도 융합 석영으로 제조되어 열충격, 화학 부식, 기계적 변형에 뛰어난 저항성을 제공합니다.

수직 하중 구성을 위해 설계된 이 쿼츠 보트는 균일한 웨이퍼 간격과 안정적인 정렬을 보장하여 모든 웨이퍼 표면에서 균일한 가스 분포와 일관된 열 노출을 촉진합니다. 강단한 구조는 열 사이클 시 무결성을 유지하여 오염 위험을 줄이고 공정 반복성을 높입니다.

고순도 수직 석영 보트: 일관된 웨이퍼 품질의 핵심

고순도 수직 석영 보트는 반도체 제조에 필수적인 부품으로, 확산, 산화, CVD 증착과 같은 고온 공정 동안 실리콘 웨이퍼를 운반하고 지원하도록 설계되었습니다. 초순수 석영으로 제작된 이 보트들은 오염 위험을 최소화하여 웨이퍼가 가공 과정 내내 순결을 유지하도록 보장합니다.

수직 설계는 모든 웨이퍼에 균일한 가스 흐름과 열 분배를 촉진하여 온도 구배를 줄이고 공정 일관성을 향상시킵니다. 매끄럽고 불순물이 적은 표면은 입자 생성을 방지하고 클린룸 기준을 유지하는 데 도움을 주어 웨이퍼 수율 증가와 신뢰성 높은 장치 성능에 직접적으로 기여합니다.

내구성이 뛰어나고 열적으로 안정적인 고순도 수직 석영 보트는 변형이나 균열 없이 반복적인 열 순환을 견딜 수 있습니다. 이러한 정밀 설계된 운반체를 선정함으로써 반도체 공장과 연구 시설은 보다 예측 가능한 결과를 달성하고, 처리량을 높이며, 까다로운 제조 환경에서 엄격한 품질 관리를 유지할 수 있습니다.