그리고투명 석영 유리 보트 200mm 웨이퍼의 고온 반도체 공정을 위해 설계되었으며, 구조적 정밀도와 광학 명료도를 모두 제공합니다. 고순도의 투명 석영 유리로 제작되어 우수한 열 안정성, 낮은 열팽창, 부식성 가스 및 입자 오염에 강한 저항성을 제공합니다.

투명 본체는 로드 및 운영 중 웨이퍼 위치와 상태를 육안으로 확인할 수 있게 하여 공정을 방해하지 않으면서 품질 관리를 지원합니다. 최적화된 기하학적 구조는 웨이퍼 간격을 균일하게 보장하여, 수평 또는 수직 용광로 내에서 일관된 가스 흐름과 열 분배를 가능하게 합니다. 산화, 확산, LPCVD, 어닐링 공정에 이상적인 이 석영 유리 보트는 재료 순도와 공정 가시성을 결합하여 첨단 반도체 제조 환경에서 신뢰할 수 있는 솔루션입니다.

투명 석영 유리 보트 사용의 장점

반도체 공정을 위한 고순도

투명 석영 유리 보트는 고순도 석영으로 제작되어 산화, 확산, 에피택시 과정에서 오염을 최소화합니다. 이러한 순도는 웨이퍼 품질과 장치 신뢰성을 유지하는 데 도움을 줍니다.

탁월한 투명성

명확한 구조 덕분에 적재, 가공, 하역 시 웨이퍼를 쉽게 육안으로 검사할 수 있습니다. 운영자와 자동화 시스템은 웨이퍼 위치를 보다 정확하게 모니터링하여 취급 오류를 줄일 수 있습니다.

우수한 열적 특성

쿼츠 보트는 극한 용광로 온도와 급격한 온도 변화를 견딜 수 있어 열충격에 강한 저항성을 제공하며, 혹독한 반도체 환경에서 장기간 수명을 보장합니다.

차원 안정성과 정밀도

투명 석영 유리 보트는 웨이퍼 간격과 정렬을 일정하게 유지하도록 정밀하게 설계되어 공정 균일성과 웨이퍼 수율에 직접적인 영향을 미칩니다.

자동 취급 시스템과의 호환성

매끄러운 표면과 정밀한 형상은 로봇 웨이퍼 적재 및 하역에 적합하며, 반도체 팹의 첨단 자동화를 지원합니다.

프로세스 전반의 다재다능함

투명 석영 보트는 산화, 확산, LPCVD 및 기타 용광로 공정에 사용될 수 있어 다양한 반도체 생산 라인에 다재다능한 선택입니다.