쿼츠 캡

제품 세부사항

이름:

8인치 쿼츠 캡 (쿼츠 내부 플러그)

기능 및 적용:

석영 캡은 웨이퍼 가공 중 용광로 온도의 안정성을 효과적으로 제어하고 열 복사 손실을 줄이는 석영관의 밀봉 부품입니다. 이 방법은 고온 공정인 웨이퍼 제조의 확산, 산화, CVD 증착 공정에 적용됩니다.

성과 요건:

높은 온도 저항성, 내식성, 우수한 열 안정성, 샌드블라스트 표면 처리, 낮은 불순물 함량.

문의하기
  • 저장성 후저우시 남쉰구 동첸 거리 창화서로 5177번지

  • +86-572-3032373

    +86-572-3033016

제품에 대해 더 알아보기

그리고쿼츠 캡 고온 반도체 및 태양광 공정 중 석영관, 원자로, 보트를 밀봉하고 보호하기 위해 정밀하게 설계된 부품입니다. 고순도 융합 석영으로 만들어진 이 캡들은 뛰어난 열 안정성, 화학 저항성, 그리고 밀착되어 오염 없는 밀봉을 제공합니다.

내구성 있는 구조는 반복적인 열 사이클을 견딜 수 있어 일관된 공정 성능과 연장된 장비 수명을 지원합니다. 표준 8인치 쿼츠 공정 튜브 및 반응기와 호환되며, 이 캡은 고급 웨이퍼 제조에서 클린룸 등급 조건과 공정 신뢰성 유지에 필수적입니다.

난로 시스템에 적합한 쿼츠 캡 선택

쿼츠 캡은 반도체 퍼니스 시스템에서 필수적인 부품으로, 확산, 산화, CVD 증착과 같은 고온 공정 동안 실리콘 웨이퍼를 보호합니다. 고순도 융합 석영으로 만들어져 우수한 열 안정성, 화학적 저항성, 낮은 불순물 함량을 제공하여 웨이퍼가 가공 과정에서 오염되지 않도록 보장합니다.

올바른 쿼츠 캡을 선택할 때는 웨이퍼 크기, 용광로 종류, 공정 요구사항을 고려해야 합니다. 적절히 설계된 커패시터는 열 분포를 개선하고, 웨이퍼 온도를 균일하게 유지하며, 열 구배나 오염으로 인한 결함을 방지합니다. 정기적인 세척과 신중한 취급은 쿼츠 캡의 수명을 더욱 연장시켜 반도체 제조 및 연구 환경에서 신뢰할 수 있는 솔루션이 됩니다.

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