이름:
8인치 쿼츠 캡 (쿼츠 내부 플러그)
기능 및 적용:
석영 캡은 웨이퍼 가공 중 용광로 온도의 안정성을 효과적으로 제어하고 열 복사 손실을 줄이는 석영관의 밀봉 부품입니다. 이 방법은 고온 공정인 웨이퍼 제조의 확산, 산화, CVD 증착 공정에 적용됩니다.
성과 요건:
높은 온도 저항성, 내식성, 우수한 열 안정성, 샌드블라스트 표면 처리, 낮은 불순물 함량.
저장성 후저우시 남쉰구 동첸 거리 창화서로 5177번지
+86-572-3032373
+86-572-3033016
그리고쿼츠 캡 고온 반도체 및 태양광 공정 중 석영관, 원자로, 보트를 밀봉하고 보호하기 위해 정밀하게 설계된 부품입니다. 고순도 융합 석영으로 만들어진 이 캡들은 뛰어난 열 안정성, 화학 저항성, 그리고 밀착되어 오염 없는 밀봉을 제공합니다.
내구성 있는 구조는 반복적인 열 사이클을 견딜 수 있어 일관된 공정 성능과 연장된 장비 수명을 지원합니다. 표준 8인치 쿼츠 공정 튜브 및 반응기와 호환되며, 이 캡은 고급 웨이퍼 제조에서 클린룸 등급 조건과 공정 신뢰성 유지에 필수적입니다.
쿼츠 캡은 반도체 퍼니스 시스템에서 필수적인 부품으로, 확산, 산화, CVD 증착과 같은 고온 공정 동안 실리콘 웨이퍼를 보호합니다. 고순도 융합 석영으로 만들어져 우수한 열 안정성, 화학적 저항성, 낮은 불순물 함량을 제공하여 웨이퍼가 가공 과정에서 오염되지 않도록 보장합니다.
올바른 쿼츠 캡을 선택할 때는 웨이퍼 크기, 용광로 종류, 공정 요구사항을 고려해야 합니다. 적절히 설계된 커패시터는 열 분포를 개선하고, 웨이퍼 온도를 균일하게 유지하며, 열 구배나 오염으로 인한 결함을 방지합니다. 정기적인 세척과 신중한 취급은 쿼츠 캡의 수명을 더욱 연장시켜 반도체 제조 및 연구 환경에서 신뢰할 수 있는 솔루션이 됩니다.